主催: 公益社団法人日本表面科学会
東北大学 多元物質研究所 米田研究室
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本実験は広いテラスを持ち、かつ原子像が確認できるほどの結晶性の良さを持つセリア薄膜の作成を目的とした。セリア薄膜は結晶性改善のための高温加熱処理で破壊されるという研究報告があるため、今回はセリア薄膜が破壊されない上限温度をXPSを用いて探しだし、その上限温度を用いてセリア薄膜を作成したところ、既存より大きなテラスを持ち、かつ原子像も確認できるほどの結晶性の良い薄膜が作成できた。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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