酸化物粉体に対するAr-GCIBクリーニングの効果

抄録

XPSは試料表面の化学結合状態を評価する有力な手法の一つであるが、表面敏感であるため表面汚染の影響を受けやすく、酸化物粉体等の状態評価は困難である場合が多かった。本研究ではAr-GCIBの低損傷性とエッチングレートの材料依存性に着目し、酸化物粉体表面のクリーニングに有効であるケースを報告する。