表面科学学術講演会要旨集
2015年真空・表面科学合同講演会
セッションID: 1Da05R
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12月1日(火)
SiGe混晶表面での非接触原子間力顕微鏡による元素識別
*小野田 穣仁木 康平杉本 宜昭
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キーワード: プローブ顕微鏡
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抄録

SiとGeは化学的性質が似ており、これまで走査プローブ顕微鏡によるSiGe混晶表面での各原子の識別は困難であった。我々は、原子間力顕微鏡を用いた力学的分光によって最大化学結合力を計測することでGe/Si(111)-(7×7)混晶表面上での個々のGeとSi原子を識別することに成功した。その際、より高い化学活性度を持つ探針の方がGeとSiの識別に望ましいことが判明した。また、本手法を濡れ層であるGe/Si(111)-(5×5)に適用し、最表面層の原子種を明らかにした。

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© 2015 公益社団法人 日本表面科学会
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