表面科学学術講演会要旨集
2015年真空・表面科学合同講演会
セッションID: 1Dp01
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12月1日(火)
表面化学分析の標準化とは何か
*笹川 薫
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キーワード: 表面化学分析, 標準化
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抄録

ISOに設立された表面化学分析の標準化に関する第201技術委員会(ISO/TC201)の活動によって、オージェ電子分光、X線光電子分光、及び二次イオン質量分析の定量分析値の精確さがどのように向上してきたのかを詳細に検討することによって、表面化学分析の標準化とは何か、という疑問に答えようとする試み。

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© 2015 公益社団法人 日本表面科学会
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