温度安定な水晶振動子圧力センサのプリアンプへの湿度の影響

抄録

温度変化に対して出力である共振抵抗値の変化が小さい温度安定な水晶振動子圧力センサのプリアンプへの湿度の影響について調べた。測定子の水晶振動子を恒温恒湿器の外に、そのプリアンプを恒温恒湿器中に設置し、30℃一定下で湿度が0～100RH%に変化した場合の出力変化は出力絶対値の0.1％であり、温度が室温範囲の15～50℃での変化よりも小さく、プリアンプへの湿度の影響は小さいことがわかった。