表面科学学術講演会要旨集
2016年真空・表面科学合同講演会
セッションID: 1PA30
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11月29日(火)
マイクロハクマク圧力センサによるスパッタリングプロセスにおける圧力計測(Ⅱ)
*大西 孝則田尻 修一岡田 俊一岡野 夕紀子小川 倉一美馬 宏司
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抄録

マイクロハクマク圧力センサをN-MHVスパッタ装置の製膜環境下に複数個設置し、反応性スパッタリングプロセス時の圧力変化実測結果等を中心に報告する

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© 2016 公益社団法人 日本表面科学会
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