主催: 公益社団法人日本表面科学j会
会議名: 2016年真空・表面科学合同講演会
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2016/11/29 - 2016/12/01
株式会社岡野製作所
小川創造技術研究所
大阪市立大学
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マイクロハクマク圧力センサをN-MHVスパッタ装置の製膜環境下に複数個設置し、反応性スパッタリングプロセス時の圧力変化実測結果等を中心に報告する
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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