ステンレス鋼からのガス放出の測定と表面構造の観察

抄録

ステンレス鋼は，耐食性，機械的強さ，表面光沢などに優れており，機械部品や真空系の構成材料として最も広く使用されている．材料からの放出ガスは主に表面の吸着したガス分子の脱離放出及び表面層近傍に含まれるガス分子や材料内部の固溶水素が拡散放出されると考えられる．材料からの放出ガス挙動を把握するために，測定対象やガス成分の定性や定量を行う必要がある．そこで，水素ガスに着目し，GC-QMSを使用して評価した．