アノード酸化皮膜の低ガス放出化

抄録

アルミ合金製真空装置の耐食性表面処理としてアノード酸化処理が使用されている。アノード酸化処理により作製された酸化皮膜はガス放出量がアルミニウム合金の自然酸化皮膜よりも多いことが知られている。アノード酸化処理で増大したガス放出量をアノード酸化処理の手法や、加熱等により低減を試みたことについて報告する。