2016年真空・表面科学合同講演会
セッションID: 1Ca10
会議情報
主催: 公益社団法人日本表面科学j会
会議名: 2016年真空・表面科学合同講演会
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2016/11/29 - 2016/12/01
11月29日（火）
表面科学から見た気体分子の排気
詳細
主催: 公益社団法人日本表面科学j会
会議名: 2016年真空・表面科学合同講演会
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2016/11/29 - 2016/12/01
真空容器の排気では，真空容器壁面における気体分子の吸着挙動が重要である．真空工学において重要な分子について，表面科学の観点から吸着・脱離と排気について考える．
