様々な Al 量添加された ZnO 透明導電膜における配向秩序とキャリア輸送とに与える Ga 添加 ZnO critical layer の効果

抄録

ガラス基板上にマグネトロンスパッタ成膜された多結晶 Al 添加 ZnO 膜における配向性とキャリア輸送向上とをもたらす設計的制御法を提案する。 膜の配向秩序は、ターゲットの Al₂O₃ 添加量に著しく依存した。混合配向は、粒界における高いキャリア散乱を誘導する。基板とバルク層との間に Critical Layer を挿入することで、添加量に関係なく (0001) 優先配向が実現された。