主催: 公益社団法人日本表面科学j会
会議名: 2016年真空・表面科学合同講演会
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2016/11/29 - 2016/12/01
名古屋大学
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マイクロ波プラズマは高密度プラズマ生成手法のひとつとして注目されている。本講演では大気圧近傍の圧力領域におけるマイクロ波プラズマ生成技術を紹介するとともに、その応用事例について紹介する。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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