大気圧高密度マイクロ波プラズマの生成とその応用

抄録

マイクロ波プラズマは高密度プラズマ生成手法のひとつとして注目されている。本講演では大気圧近傍の圧力領域におけるマイクロ波プラズマ生成技術を紹介するとともに、その応用事例について紹介する。