大気圧プラズマジェット照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた材料表面の局所エッチング

抄録

大気圧プラズマジェット（APPJ）は親水化や殺菌、材料加工などへ応用されており、近年盛んに研究されている。我々はサブミクロンの開口を持つナノピペットをAPPJのノズルと走査型プローブ顕微鏡の探針の両方に用いた新規な微細加工法を開発した。本研究ではHeガスや微量に別の添加ガスを加えて、大気圧プラズマとして材料表面に局所的に照射することで、サブミクロン程度の表面局所エッチング法を開発したので報告する。