CVD導電性ダイヤモンド膜の革新的応用展開

抄録

マイクロ波プラズマCVDおよび熱フィラメントCVDによる導電性ダイヤモンド膜の合成とこの導電性ダイヤモンド膜を用いた電解硫酸の作製と工業的応用について報告する。