高速電子を用いた顕微鏡

抄録

PEEMは、紫外光を照射し放出される低エネルギー光電子の量が表面の仕事関数の大小に依存することから、表面組成、凹凸等の情報を観測することができる手法である。一方高速の電子を用いることができれば、窓材を通して表面観察もできるようになるが、放出される電子の初速度が大きくなると対物レンズによる集光効率が悪化する。そこで我々は高速電子を集光できる磁場型レンズを用いて、高速電子光電子顕微鏡の可能性を探った。