電気関係学会東北支部連合大会講演論文集
セッションID: 2A05
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主催: IEEE SENDAI SECTION

座長：大寺　康夫(東北大学)
Production of negative hydrogen ions in RF plasma sources
*松野 哲郎, 安藤 晃, 竹入 康彦, 津守 克嘉
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© 2010 Organizing Committee of Tohoku-Section Joint Convention of Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan
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