ZnS:Mn蒸着膜の膜質評価(II) : "画像変換装置"合同研究会 : 電子装置 : 画像表示

抄録

エレクトロルミネセントデバイスを作成する過程で、発光層蒸着後のアニールは最も重要であり、しきい値電圧、輝度等の素子特性に大きな影響を及ぼす、このアニール過程のZnS:Mn薄膜形成に及ぼす効果を明らかにするために、アニールの前後の結晶性、組成、Mn^<2+>イオンの状態について測定を行い、考察した。その結果アニールによって発光層の結晶性が向上するだけでなく、発光に寄与していると考えられている孤立したMn^<2+>イオンが増加していることを確認した。