レーザープラズマX線源を用いたX線顕微鏡 : 情報入力,情報ディスプレイ

抄録

15倍の倍率を持つシュバルツシルト型軟X線顕微鏡の設計、製作、及び波長7nmのX線での性能評価を行った。X線ミラーとして2d=7nm、層数30層のNi/C多層膜ミラーを用いた。X線源としては輝度の高いレーサープラズマを使い400ピコ秒の短時聞でのメッシュ像の撮影に成功し、0.5um以下の空間分解能を達成した。