テレビジョン学会技術報告
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CoPt薄膜媒体の微細構造が磁気特性及びノイズ特性に与える影響 : 記録媒体・磁気ヘッド : 画像情報記録
彦坂 和志田中 陽一郎
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1993 年 17 巻 14 号 p. 25-32

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抄録

スパッタAr圧が異なる条件で作製した下地膜なしのCoPt膜は、微細構造に違いがみられた。高Ar圧で作製した膜には、結晶粒内に酸素が偏析した非晶質相が存在した。一方、低Ar圧では、結晶粒内にPt濃度の変調はあるものの、非晶質相はなかった。基板温度を変えた場合、低Ar圧で作製した膜では、他の要因が保磁力に影響を与えていると思われた。高Ar圧、低Ar圧で作製した媒体とともに、DCノイズは、結晶粒径の微細化とともに減少した。しかし、記録密度の増加に伴うノイズの増大は、高Ar圧で作製した膜では減少したのに対し、低Ar圧で作製した膜では減少しなかった。

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© 1993 一般社団法人映像情報メディア学会
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