テレビジョン学会技術報告
Online ISSN : 2433-0914
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Pt/Co積層膜の安定性 : 光磁気記録関連 : 画像情報記録
樟本 靖幸寺垣 靖子鷲見 聡綱島 滋内山 晋
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1993 年 17 巻 25 号 p. 23-27

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抄録

Pt/Co積層膜の勲安定性と耐候性を調べた。熱安定性は、下地層に多結晶のPtとZnO、アモルファスのAlNとガラス(下地層なし)を用いた配向性の異なるPt/Co積層膜のアニールを行い調べた。アニールは、真空中(2×10^<-4>Torr以下)で行い、アニール温度は400℃max、アニール時間は30分とした。PtやZnO下地層上のPt/Co積層膜は高い熱安定性を示し、特に、ZnO下地層のものは400℃アニール後も完全な角形を示した。耐候性は、65℃一85%RHと80℃一85%RH雰囲気中でのC/NとBLERの経時変化から評価した。その結果、Pt/Coディスクが単純な構造でも信頼性に問題ないことがわかった。

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© 1993 一般社団法人映像情報メディア学会
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