ZnS:TbF_3薄膜ELの膜質評価 : 画像変換技術関連 : 情報入力 : 情報ディスプレイ

抄録

今回の研究では、ZnS:TbF_3発光層を電子顕微鏡観察、及び、X線回折し、蒸着膜形成過程の評価及び、発光中心TbF_3の膜質への影響を考察した。また、ドーピ シグ母体として使用されるTbF_3の構造を調べ考察した。その結果、TEM像観察により、ZnS:TbF_3膜の膜成長を視覚的に確認し、これとX線画析から、Tbが膜質を劣化させていることが分かり、また、TbF_3の構造を調べた結果TbF_3は斜方晶系結晶でYF_3型構造をしていることが分かった。