抵抗付DCPDPへのフォトリソの応用 : 情報ディスプレイ

抄録

DC型PDPの最大の欠点であった寿命の問題は,He-Xe系ではガス圧を350Torr程度に上げ,各セルに1MΩ程度の抵抗をつけることによって解決できることを既に示した。この抵抗付パネルでは,抵抗の微細化とバラツキが問題となる。その一つの解決法として,厚膜フォトリソの利用を考えた。今回は,セルピッチ0.7mm,対角20cmパネルの抵抗のターミネイターをAuの厚膜印刷一焼成一フォトリソの工程で形成した。抵抗は新たに入手したRuO_2を印刷して用いた。抵抗の自動測定器を試作し,各種データ処理を行ない,バラツキの要因を分析した。その結果,O.6mmピッチまで対応でき,バラツキの標準偏差は3%程度までできることがわかった。