ZnS系蛍光粉体の発光寿命を向上させるために、ソースガスにSi2H6とO2を使用した光CVD法を用いて、低温度においてZnS系蛍光粉体表面のSiO2膜コーティング処理を行った。その結果以下のことがわかった。(1)従来の熱CVD法を用いての処理と比較して、かなり低温度(200[℃])において蛍光粉体表面のSiO2膜コーティング処理を行うことができた。そして発光寿命を著しく向上させることができた。(2)処理温度を低温化することにより発光スペクトルの長波長側へのシフトを抑えることができた。(3)蛍光粉体界面の状態変化により、発光波形に変化が生じた。
