超高感度撮像管スーパーハーピコンの開発とその応用

抄録

ハーピコンは非晶質半導体における電荷のアバランシェ増倍という光導電性ターゲットの新たな動作原理に基づき開発された撮像管で, その特徴は従来の画質を損なうことなく高感度, 高解像度を実現できるということである。今回, 光導電膜厚及び膜内組成等を検討し, 対サチコン比64倍感度の25mm形磁界集束・磁界偏向形スーパーハーピコンを産業用として実用化した。このスーパーハーピコンと微分機能内蔵カメラとの組合せにより, 異物, むらなどの表面検査や, 流れの可視化等に優れた性能を発揮することを確認した。