Spiceを用いたpoly-SiTFTのシミュレーション

抄録

NCAP(Nematlic Curvilinear Aligned Phase)とMOS集積回路を組み合わせて投射画像を制御するMOS反射型素子を開発した。画素数は640×480、表示領域は対角2インチ、開口率は90%であり、光は100万ルクスまで照射可能である。MOS製造には、液晶ドライバー用の対高圧CMOSプロセスを使用した。MOSチップの画素電極は、光反射率の高いアルミ膜を用いると共に、光利用効率を上げるためにその下層の絶縁層にポリイミド樹脂を用いて平坦化した。