Co-O膜の磁気特性に及ぼす残留ガスの影響

飯村 誠; 久保田 隆; 平野 広; 小川 容一; 水村 哲夫

doi:10.11485/tvtr.20.17_15

飯村誠, 久保田隆, 平野広, 小川容一, 水村哲夫

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キーワード: Co-O斜め蒸着膜, 残留ガス圧力, 水蒸気, 異方性磁界, 磁化容易軸

研究報告書・技術報告書フリー

1996 年 20 巻 17 号 p. 15-20

DOI https://doi.org/10.11485/tvtr.20.17_15

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抄録

成膜時の残留ガスによりCo-O斜め蒸着膜の磁気特性が劣化する機構について調べた.この結果, 残留ガスの主成分である水蒸気が保磁力と角形比を低下させることがわかった.水分圧が高いほど磁化容易軸が膜面内から立ち上がるとともに異方性磁界が減少する.これらの原因はCo蒸気が水分子により散乱を受け, 指向性が変化したためと考えられる.また, 酸素ガス導入によるCo蒸着膜の酸化も水分圧が高いほど抑制される.これは, 膜表面への水分子の吸着によるものと考える.

責任著者(Corresponding author)

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