MOSトランジスタ機能を有する電界放射型電子エミッタ

抄録

電界放射型電子エミッタは, フラットパネルディスプレイなどへのデバイス応用が期待されているが, エミッタからの放出電流が時間的に変動することが実用化の妨げとなっている.我々は, p型およびn/p接合型のシリコン電界放射型電子エミッタのエミッション特性を詳細に検討して得られたエミッションモデルを基にして, 電子エミッタの内部にMOSトランジスタ構造を作りつけた新しいエミッタを考案・製作し, このトランジスタの電流制御機能を利用して放出電流を安定化することに成功した.