EL素子発光層材料SrS : Ce薄膜の評価

抄録

青緑色発光のEL発光層材料であるSrS : Ce薄膜を製膜する際に、組成比のずれの防止や結晶性の改善を行うことが必要である。本実験では、蒸着源としてZnSを混合したSrS : Ceペレットを用いて薄膜を作製し、さらに基板温度を変化させて膜の性質の変化を調べた。また、新たな電荷補償材料としてNを用いる方法についても検討した。