表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
特集「真空機器メンテナンス講座」
ターボ分子ポンプのメンテナンス
桜井 充
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キーワード: turbo-molecular pump, TMP, compound, maintenance, overhaul
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2018 年 61 巻 8 号 p. 522-527

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