表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
特集「プラズマが誘起する界面反応と表面科学」
プラズマが誘起する界面反応と表面科学
篠原 正典高橋 茂樹
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キーワード: plasma, reaction, surface, interface
ジャーナル 認証あり

2020 年 63 巻 12 号 p. 614-615

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抄録

Plasma-induced interface reaction is a key of plasma processing, which is an inevitable tool of contemporary science and technology. Studies on “Plasma-induced surface and interface reaction” are one of important fields of surface science, as well as that of vacuum science.

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