表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
特集「マイクロビームアナリシス技術部会特集号」
絶対測定に基づくオージェおよび二次電子スペクトルのデータベース
後藤 敬典中原 仁本間 芳和
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2021 年 64 巻 10 号 p. 476-481

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抄録

The Division of Microbeam Analysis, the Japan Society of Vacuum and Surface Science, publishes the Database for Auger and Secondary Electron Spectra online (https://www.jvss.jp/division/mba/sedb/). These spectral data were measured with an SI traceable cylindrical mirror analyzer developed by Keisuke Goto (absolute measurement system). The database body stores measurement data and spectra of 56 materials and 47 materials as an appendix. This paper reports the concept and characteristics of the absolute measurement system and introduces the electron spectra database.

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