表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
特集「Society 5.0時代を創出する異種材料集積半導体デバイス」
Siエレクトロニクスの展望と異種機能・異種材料集積化
平本 俊郎
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ジャーナル 認証あり

2021 年 64 巻 2 号 p. 62-67

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抄録

The advancements of Si electronics from the past to the present are reviewed and the future technological trends are discussed based on the semiconductor roadmap. The development of the heterogeneous integration is also discussed.

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