表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
特集「ものを隔てる膜の表面・真空科学」
ダイアフラム型真空ポンプの特徴と構造
林 浩
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ジャーナル 認証あり

2021 年 64 巻 4 号 p. 179-182

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抄録

The diaphragm type vacuum pump is a vacuum pump that exhausts gas using the reciprocating motion of the diaphragm. Especially, it is not contaminated by oil vapor. This pump is ideal for applications that require a clean atmosphere. With the recent rapid development of the semiconductor manufacturing industry and the electronics equipment industry, demand for the diaphragm type vacuum pump has also been increasing.

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