表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
特集「Beyond5G実現に向けた要素技術の開発」
Beyond 5G/6G応用に向けたInP-HEMT集積テラヘルツ帯IC製造技術
堤 卓也 杉山 弘樹濱田 裕史高橋 宏行松崎 秀昭
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2022 年 65 巻 6 号 p. 258-263

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抄録

This report reviews fabrication processes and epitaxial growth technology of InP-based high electron mobility transistors (InP-HEMTs) and Tera-Hertz monolithic ICs (THz-ICs) in order to develop 300-GHz-band frequency, which is one of the candidates for “Beyond 5G/6G” network. We also introduce a successful result of a wireless transmission with 300-GHz 16-QAM format with InP-HEMT-based THz-ICs.

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