日本接着学会誌
Online ISSN : 2187-4816
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36 巻, 8 号
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総説
研究論文
  • 木村 肇, 田口 秀一, 松本 明博, 松田 聡, 長谷川 喜一, 村上 惇
    2000 年 36 巻 8 号 p. 309-315
    発行日: 2000/08/01
    公開日: 2015/04/30
    ジャーナル フリー
    ビスフェノールA型のベンゾオキサジン化合物を合成し,これとビスオキサゾリンとの溶融混合樹脂をマトリックス樹脂としたガラス繊維強化プラスチック (GFRP) を作製し,その耐熱性および力学特性について検討した。その結果,ベンゾオキサジン化合物とビスオキサゾリンとの溶融混合樹脂をマトリックス樹脂とした GFRP は,一般的なフェノール樹脂であるビスフェノールA型ノボラックとビスオキサゾリンとの溶融混合樹脂をマトリックス樹脂とした GFRP より,ガラス転移温度 (Tg) が約60℃高くなり,耐熱性が大幅に優れていた。また,ベンゾオキサジン化合物を用いた GFRP の方がビスフェノールA型ノボラックを用いた GFRP よりも,引張強度,曲げ強度および特に衝撃強度が優れていた。これはベンゾオキサジン化合物を用いた GFRP の方が,ピスフェノールA型ノボラックを用いた GFRP よりも繊維と樹脂との界面接着強度が若干低いため,界面はく離することにより樹脂のき裂中に生じた応力集中を緩和するためであると考えられる。
研究論文
研究論文
  • 森池 教夫, 河合 晃
    2000 年 36 巻 8 号 p. 295-301
    発行日: 2000/08/01
    公開日: 2015/04/30
    ジャーナル フリー
    半導体素子製造プロセスに用いられる有機ドットパターンに原子間力顕微鏡(AFM)の探針から荷重を加えて破壊することで,パターンの付着力を直接に解析できる。今回I.KrFエキシマレーザー対応化学増幅型レジスト(直径110~240nm)のパターン破壊荷重の度数分布の簡便な測定法を新たに提案し,その破壊挙動を解析する。ドットパターンの破壊荷重依存性には閥値が存在する。よって,閥値荷重及び初期不良パターン数からレジストパターンの付着信頼性を評fliliできる。AFMによるその場観察から,パターン破壊後の基板表面にはレジスト残置が観察された。よって,パターン自身力凝集破壊していることがわかった。また,本手法をArFエキシマレーザー対応化学増幅型レジストにも適用して妥当性を確認した。そして,3次元の有限要素法により,加重時に発生するパターン内部の応力分布を解析した。これにより,応力集中がパターン破壊に大きく影響していることを明らかにした。
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