巻号一覧
37 巻, 9 号
選択された号の論文の5件中1～5を表示しています
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総説
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池野 正行2001 年 37 巻 9 号 p. 365-370
発行日: 2001/09/01
公開日: 2015/05/31
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総説
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岡松 隆裕2001 年 37 巻 9 号 p. 358-364
発行日: 2001/09/01
公開日: 2015/05/31
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (2178K)
研究速報
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阿部 貴人, 河合 晃2001 年 37 巻 9 号 p. 353-357
発行日: 2001/09/01
公開日: 2014/10/31
ジャーナル フリー近年，ミクロな視点から，固体の付着・凝集特性を解析する技術の開発が望まれている。本論文では，原子間力顕微鏡 (AFM: Atomic force microscope) の微細探針を用いて，微細レジストパターンに直接荷重を加える手法により，その弾性特性を解析する。実験では，線幅が60nmの電子線用化学増幅型レジストパターンのバネ定数の導出を試みる。まず，先端形状の異なる3種類の微細探針を用いて，実験条件の最適化を行った。次に，微細探針とレジストパターンから構成される連結バネモデルを考えることで，レジストパターンのねじれのバネ定数を算出した。その結果，バネ定数を403N/mと見積もることができた。本論文では，AFMを用いたレジストパターンの弾性解析の妥当性を考察する。抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1667K)
研究論文
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姉川 晶子, 関 和範, 李 鎔陖, 秋葉 勇, 秋山 三郎2001 年 37 巻 9 号 p. 348-352
発行日: 2001/09/01
公開日: 2014/10/31
ジャーナル フリーポリアクリル酸2－エチルヘキシル (P(2EHA)) とポリメタクリル酸メチルーポリジメチルシロキサングラフトコポリマー (PMMA-graft-PDMS) とのブレンドのフィルム断面のモルホロジーについて検討を行った。P(2EHA) /PMMA-graft-PDMSブレンドは製膜温度，PDMSの重合度に関わらずPMMA-graft-PDMSリッチブレンドにおいて傾斜ドメイン構造，中間の組成で2層構造，P(2EHA) リッチブレンドで分散相が均一に分散した海一島構造を形成することを見いだした。また，PMMA-graft- リッチブレンドにおいて見られた傾斜ドメイン構造は，PDMSの重合度を大きくすることにより，２層構造に近い傾斜ドメイン構造へと変化することを見いだした。抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1496K)
研究論文
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木原 幸一郎, 吉良 誠, 磯野 宏秋, 京極 秀樹, 杉林 俊雄2001 年 37 巻 9 号 p. 339-347
発行日: 2001/09/01
公開日: 2014/10/31
ジャーナル フリー円筒突合せ接着継手を伝播する応力波の値とその伝播過程について検討することにより，衝擊引張負荷を受ける接着剤の強度を調べた。試験片は被着体の中心軸を一致させることが比較的容易な中空円筒突合せ形状とし，接着層厚さは比較的薄い0.05mmと応力波の伝播過程が測定可能な30mmの2種類とした。それぞれの接着層厚さについて，一次元弾性波理論と有限要素法により接着層内の応力の経時変化を解析した結果，両解析結果はよく一致した。また，これらの解析値は実験値ともよく一致し，一次元弾性波理論は本試験片の解析にも適用可能であることを確認した。接着層厚さが薄い場合，接着層内における応力の分布は静的負荷下の分布と同様であるため，応力波が透過する被着体の応力値を測定することにより接着剤の衝撃引張強度が評価できることを示した。本評価方法を用いて5種類のゴム変性エポキシ系接着剤の衝撃強度を測定し，それぞれの静的強度と比較した。5種類の接着剤すべてにおいて衝撃強度は静的強度の2倍程度であった。抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (2978K)
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