日本接着学会誌
Online ISSN : 2187-4816
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38 巻, 11 号
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総説
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研究論文
  • Cu/DFR/Niめっき液三重点における界面エネルギー解析によるEaves形成モデルの確立
    吉田 秀昭, 中村 忠司, 川上 喜章, 河合 晃
    2002 年 38 巻 11 号 p. 413-419
    発行日: 2002/11/01
    公開日: 2014/10/31
    DOIhttps://doi.org/10.11618/adhesion.38.413
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    ドライフィルムフォトレジスト(DFR: Dry Film photoResist)を用いたフォトリソグラフィーに よりミクロンサイズのNiめっきパターンを形成した際，庇状のバリ(Eaves)が発生することが問題になっている。SEM観察やXMA解析により，Eavesの断面形状がBird's-beak状になっていることがわかった。Eaves発生のファクターとして，Cu基板とDFR.現像液の三重点における接着エネルギーの平衡に着目したところ,現像液がCu基板/DFR界面に浸入し，微細な隙間を形成する可能性があることがわかった。しかし，単純に微細な隙間にNiめっき液が浸入しただけではBird's-beak状のEavesは形成されない。さらに解析を進めたところ，Niめっき液は微細な隙間の有無に関係なく, Cu基板/DFR界面に浸入でき，めっきの成長によりBird's-beak状のEavesが形成されることがわかった。以上の結果より,Eaves形成モデルを確立した。
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