巻号一覧
40 巻, 1 号
選択された号の論文の5件中1～5を表示しています
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総説
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池上 晧三2004 年 40 巻 1 号 p. 31-36
発行日: 2004/01/01
公開日: 2015/08/31
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (1868K)
総説
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今中 誠2004 年 40 巻 1 号 p. 21-30
発行日: 2004/01/01
公開日: 2015/08/31
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (2810K)
総説
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原田 美由紀, 越智 光一2004 年 40 巻 1 号 p. 14-20
発行日: 2004/01/01
公開日: 2015/08/31
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (2146K)
研究論文
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河合 晃2004 年 40 巻 1 号 p. 11-13
発行日: 2004/01/01
公開日: 2014/11/30
ジャーナル フリー原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針を移動させて，パターンに直接荷重を加えることにより，直径177nmサイズの円筒形レジストパターンを剥離した。レジストパターンの剥離強度は,AFM探針の走査速度の増加につれて大きくなった。パターンの剥離強度において.AFM探針とパターン間の摩擦力が及ぼす影響を考察した。抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (783K)
研究論文
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片上 英治, 上原 徹, 片山 裕之, 田島 政弘2004 年 40 巻 1 号 p. 4-10
発行日: 2004/01/01
公開日: 2014/11/30
ジャーナル フリーエチレンに窒素，二酸化炭素またはアルゴンを混合したガス雰囲気下で大気圧プラズマ処理を行った。堆積物のFT－m測定，プラズマ処理後のガスおよび堆較物のメタノール可溶物についてGC-MS測定をそれぞれ行った。プラズマ処理によって生成した堆穣物は含酸素化合物を含んでいた。アルゴンを混合した場合，エチレンのみで処理した場合とほぼ同じ結果を得たが，窒素と二酸化炭素を混合した場合，メチレンが減少し，含酸素化合物が増加した。また，二酸化炭素はプラズマ中で解離し反応種として働くため，他に比べてエステルが増加した。アルゴンはエチレンの反応を促進し残存オリゴマーを減少させるために堆椴膜と基質の親和性が向上した。抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1941K)
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