ファインセラミックスの高能率・高平滑研削加工法の開発を目的として,粒度#140の粗粒メタルボンドダイヤモンド砥石による延性モード研削の可能性を検討した.工作物には,ホットプレス法と熱間静水圧法で製造された炭化けい素(HPSC)と窒化けい素(HIPSN)を用いた.主な結果は以下の通りである.
(1)粒度#140のメタルボンドダイヤモンド砥石でHPSCおよびHIPSNの両ファインセラミックスとも,テープル速度を遅くすると10×10mm
2全面にほとんどぜい性破壊がない延性モード鏡面研削が吋能てある.
(2)同じ研削条件で,連続切れ刃間隔がはるかに知い粒度#800の砥石では,全面での延性モード研削が出来なかった.粒度#140の砥石の砥粒の大きな切れ刃逃げ面が延性モード研削に関係していることか考えられる.
(3)仕上面全面で延性モード研削となるようなテーブル速度の遅い条件では,表層の硬さは幾分か低下する.
(4)仕上面粗さは,テーブル速度を遅くすると向上する.
Vw=0.05mm/sのHPSCの全面延性モード研削の場合,研削方向と平行方向の仕上面粗さおよびそれと直角な砥石軸方向の仕上面粗さはそれぞれ約20nm(
Rz)と240nm(
Rz)になる.
本研究の実験に協力頂いた工藤裕幸,山浦光男,田中慎一,河村強の各氏ならびに研削盤,砥石,研削液,工作物のご提供を頂いた(株)岡本工作機械製作所,ノリタケダイヤ(株).ユシロ化学工業(株),東陶機器(株)の各社に謝意を表します.
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