分析対象物質が既知量含まれる標準物質を分析機器で測定することによって，分析機器の出力と標準物質がもつ値との相関を得ることができる．標準物質及び認証標準物質が備える特徴，測定結果の信頼性を現す用語，不確かさ評価法，表面分析用の認証標準物質などを概説する．ナノ薄膜試料の厚さを測定対象量とする表面分析法について，試料のもつ厚さ以外の特徴量による影響に触れる．表面分析用の標準物質を開発するときの課題について述べる．

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（一社）研究産業・産業技術振興協会の研究から，相対感度係数法を用いたスタティック二次イオン質量分析法（S-SIMS）によって，3,3-Di(9H-carbazol-9-yl)biphenyl（mCBP）とtri-(2-phenylpyridine)iridium(Ir(ppy)3）とで成る二元有機混合物に関して定量可能であることを見出した．この結果を基に，二元有機混合物の定量分析法と定量可否の診断法に関して，表面化学分析技術国際標準化委員会（JSCA）イオンビームWGはISO規格化に向けた提案をすることとなった．ここでは，SIMSによる定量法の難しさと，規格案及びその位置づけについて概説する．

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無機材料の様々な評価を自動で連続して行う"マテリアルシーケンサー"を開発した．この装置は，機械学習分析などへの利用を前提としたデータ収集を行うために設計されている．そのため，出力計測データ及びメタデータ（データを説明するデータ）をフォーマット化した．各測定装置は，およそ40 cm角のスペースに収められ，試料へのアクセス方法や制御の入出力などモジュール化されている．試料の搬送はレールの上を動く搬送台車によって行われ，測定は試料上面からアクセスする．試料は，0.5インチサイズの無機材料を対象としている．現在，画像測定，反射測定，抵抗測定を行うことができ，さらに測定装置を拡張することも可能である．

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