Journal of Surface Analysis
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9 巻 , 1 号
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論文
  • 木村 隆, 田沼 繁夫, 井上 雅彦, 鈴木 峰晴, 橋本 哲, 三浦 薫
    原稿種別: その他
    専門分野: その他
    2002 年 9 巻 1 号 p. 75-80
    発行日: 2002年
    公開日: 2003/05/30
    ジャーナル フリー
    二酸化シリコンの電子線照射損傷は従来はピーク形状の微細な変化で定性的に論じられることが多く,この方法では試料損傷の正確な評価や測定法の標準化では問題が多い.そこで,ピーク形状によらず測定強度そのものを使って解析することを試みた.電子線照射によりSiO2→SiO→Siと2段階で還元するモデルから理論的に導いた式を用いて,測定値にカーブフィットすることにより,電子の臨界ドーズ量を定量的に求める方法を考案した.
  • S. Iida, T. Tsujita, T. Nagatomi, Y. Takai
    原稿種別: Others
    専門分野: Others
    2002 年 9 巻 1 号 p. 81-87
    発行日: 2002年
    公開日: 2003/05/30
    ジャーナル フリー
    A unique specimen holder for LEED (low energy electron diffraction) and AES (Auger electron spectroscopy) study at high temperatures has been developed with considerable success. It enables us to observe the LEED pattern of a clean W(100) surface with enough contrast using a commercial-type LEED system at 1400 K. AES spectrum for the W(100) surface at 1400 K has been successfully measured without any effects caused by the heating of the specimen. The present result leads us to the confirmation that the developed specimen holder is well worthy to be applied to the systematic study of the Sc-O/W(100) system at high temperatures.
  • 星 孝弘, 戸津 美矢子, 工藤 正博
    原稿種別: その他
    専門分野: その他
    2002 年 9 巻 1 号 p. 88-98
    発行日: 2002年
    公開日: 2003/05/30
    ジャーナル フリー
    実効的な二次イオン·サンプリング深さの極浅化を目的とし、TOF-SIMS一次イオンの低エネルギー照射を試みた。その結果、低エネルギー斜入射条件(2keV、75度)では、アラキジン酸Cd一分子層で覆われたシリコン基板からのSi+強度を1/20程度に抑える効果が確認できた。また、一方、低エネルギー一次イオン照射時の質量分解能を最適化する作業も同時に検討され、低エネルギー一次イオン照射時の解析精度は、質量分解能の面から、通常のエネルギー照射と同等に高めることが可能なことも確認された。
  • 戸津 美矢子, 星 孝弘, 工藤 正博
    原稿種別: その他
    専門分野: その他
    2002 年 9 巻 1 号 p. 99-108
    発行日: 2002年
    公開日: 2003/05/30
    ジャーナル フリー
    TOF-SIMS計測から、毛髪上から検出された有機成分が、シャンプー·リンス成分に由来するものが確認された。さらに、シャンプー·リンス成分の中には、毛髪表面に残留している成分と洗い流されるものがあることも確認した。また、簡便な断面試料作成とTOF-SIMSイメージ観察を組み合わせることにより、毛髪内部へのシャンプー·リンス成分の浸透成分やその深さを観察することが可能であった。これらの解析例から、TOF-SIMSが生体·医薬分野においても、極表面の局所有機情報取得の計測法として有効であることを示した。
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