研削加工により，未だ報告例のない内径0.1mm未満の微細穴加工を試みた．研削工具として，放電加工により成形された超硬合金微細軸を使用した．これは，表面に形成された放電痕による凹凸が砥石における砥粒切れ刃に相当するので，研削加工を行うことが可能である．極小径工具は耐折損性が低いので，研削抵抗を低減するために工作物を超音波加振する超音波研削を試みた．さらに，工具が加工穴の軸周りに遊星運動を行うヘリカル送りも採用した．クラウンガラスに穴あけ加工を試みた結果，内径30μmの微細穴の加工に成功した．また，超音波加振による研削抵抗低減効果は確認されたが，ヘリカル送りの効果はとくにみられなかった．

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ナノ精度研削加工を達成すべく均一分散・分級ダイヤモンド砥石の開発を行い，前報において微粒砥粒および結合剤の分級・分散の技術について報告した．本報においては超音波プレス砥石成形装置を開発し，本装置による稠密な砥石成形について報告するとともに，成形した砥石による研削実験を行い研削性能について評価を行った．その結果，超音波援用により砥粒・結合剤の密着度の向上が確認され，通常の成形法で作成した砥石と比較し，均一分級・分散超音波プレス成型による砥石では研削比が3倍程度に向上し，研削面粗さが40%程度に減少するという効果を得た．

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超硬材円筒部品の簡易面取り装置を開発するにあたって，品質工学の手法を用いて要素研究を行った．この結果，次のことが明らかになった．(1)砥石軸方向の研削抵抗を低減するためには，砥石粒度を細かくすることが効果が大きい．砥石半径方向および砥石回転方向の研削抵抗は，加工条件を変えても大きな効果は見込めない．(2)送り速度を低くすることが砥石面の研削温度の低減に効果が一番大きい．(3)ドウェル時間を長く取ることが，びびり形状を低減できる効果の大きい要因である．以上の知見を活用して，簡易面取り装置を試作開発した．

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被削材と工具とが連続的に接触する旋盤加工においては，加工中に工具-切りくずの界面へ切削液を供給することが困難であるため，工具へ高い熱的・機械的負荷が加わる．さらに旋盤加工で排出される繋がった切りくずは，被削材や工作機械・工具へ絡み付くことが問題となっており，自動運転を実現する上での妨げとなっている．そこで，本研究ではこのような現状を打破することを目的に，工具へ低周波数域の振動を付与し加工を行うという，低周波振動切削加工に関する検討を行っている．ここで，低周波振動切削加工では1振動中における加工時間および工具離脱時間が，加工能率・加工特性に大きな影響を与える．そこで，切りくずの凝着が大きな問題となっているアルミニウム合金の旋盤加工に対してNCプログラムにより工具への低周波振動の付与を行い，その基本的な加工特性を評価するとともに，1振動あたりの切削距離と工具への切りくず凝着量の関係を明らかにした．また，得られた結果を基に振動切削における切削液の効果に関する検討を行い，微細な3次元周期構造を表面に有する切削工具を本手法に適用した結果，より加工能率の高い振動条件下においても切りくず凝着を著しく抑制できることを示した．

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