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精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
ISSN-L : 1348-8716
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後続誌
精密工学会誌
72 巻 (2006)
12 号 p. 1483-
11 号 p. 1351-
10 号 p. 1227-
9 号 p. 1103-
8 号 p. 983-
7 号 p. 857-
6 号 p. 725-
5 号 p. 591-
4 号 p. 459-
3 号 p. 331-
2 号 p. 203-
1 号 p. 73-
71 巻 (2005)
12 号 p. 1525-
11 号 p. 1377-
10 号 p. 1239-
9 号 p. 1109-
8 号 p. 985-
7 号 p. 855-
6 号 p. 723-
5 号 p. 579-
4 号 p. 455-
3 号 p. 337-
2 号 p. 205-
1 号 p. 77-
70 巻 (2004)
12 号 p. 1505-
11 号 p. 1381-
10 号 p. 1261-
9 号 p. 1169-
8 号 p. 1053-
7 号 p. 929-
6 号 p. 795-
5 号 p. 635-
4 号 p. 495-
3 号 p. 349-
2 号 p. 203-
1 号 p. 59-
71 巻, 11 号
選択された号の論文の18件中1~18を表示しています
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論文
インコネル718の旋削加工性能に及ぼすオイルミストの効果
八崎 透, 鬼鞍 宏猷
2005 年 71 巻 11 号 p. 1377-1382
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1377
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本論文では, 超耐熱合金であるインコネル718への環境対応型切削加工技術を確立することを目的とし, 各種材質の工具チップを用い, 逃げ面およびすくい面方向からクーラント, エアーおよびオイルミストを吹きつけながら旋削を行い, これらが工具寿命, 仕上げ面粗さ, 加工寸法に及ぼす影響について実験的に明らかにした.
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(1532K)
FIB-CVD法を用いて作製したDLC膜の微細構造解析
坂本 直道, 向後 保雄, 安野 拓也, 八木 貴弘, 谷口 淳, 宮本 岩男
2005 年 71 巻 11 号 p. 1383-1387
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1383
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FIB-CVD法を用いて作製したDLC膜の微細構造分析を行った. DLC膜は完全なアモルファス構造を持つことが確認され, 膜中に3~5 at.%のGa原子が均一に分布し, また, 炭素原子のsp
3
結合が31~32 %の割合で含まれることが明らかとなった. 以上の結果は, 異なる種類の基板を用いた場合でも同様であった.
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(1114K)
電極運動制御装置を用いた一定曲率曲がり穴放電加工
三宅 康仁, 石田 徹, 竹内 芳美
2005 年 71 巻 11 号 p. 1388-1392
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1388
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ソフトウェアによって電極運動軌跡を制御できる装置を開発し, 加工可能な曲がり穴の形状自由度を向上させたが, 装置の基礎的性能を確認するため, 複雑な処理が必要ない単純な制御による形状的特徴のない曲がり穴の加工にとどまっていた. そこで本研究では, 画像処理センサによる電極運動軌跡の教示およびその再生による加工方式を開発し, これを用いて, 一定の曲率をもつ曲がり穴の加工に成功した.
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(1741K)
大気圧プラズマCVDにより高速形成した多結晶Si薄膜の構造に対するSiH
4
濃度の影響
大参 宏昌, 垣内 弘章, 中濱 康治, 江畑 裕介, 安武 潔, 芳井 熊安, 森 勇藏
2005 年 71 巻 11 号 p. 1393-1398
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1393
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大気圧プラズマCVD法により作製したpoly-Si薄膜の膜構造に関して, SiH
4
濃度依存性を調べた. その結果, SiH
4
濃度は, poly-Si薄膜の形態, 配向, 結晶化率, 水素濃度に影響を与えていることが分かり, とりわけSiH
4
濃度の変化による膜中含有水素が, 膜構造の変化に与える影響に関して考察した.
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(1426K)
大面積電子ビームによる金型加工面の高能率仕上げに関する研究 (第2報)
―傾斜面平滑化特性と表面改質効果―
岡田 晃, 宇野 義幸, 仁科 圭太, 植村 賢介, Purwadi RAHARJO, 佐野 定男, 虞 戦波
2005 年 71 巻 11 号 p. 1399-1403
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1399
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大面積パルス電子ビーム照射による金型表面仕上げ法において傾斜面の平滑化特性, および表面改質効果について考察した. その結果, 傾斜した面においても短時間で十分な平滑化が可能であり, また同時に耐食性も著しく向上できることを明らかにした.
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(1662K)
2個の高輝度LEDと垂直走査型干渉計を用いる高速nm精度形状計測
安達 正明, 上田 覚児, 榎本 文彦
2005 年 71 巻 11 号 p. 1404-1409
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1404
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広帯域スペクトル光での干渉を用いて, 段差を持つ超精密部品等の形状を高速に測定する方法を述べている. 高速化を図るため, 2色のLED光を用い位相シフト量をそれぞれ6π±π/2とし, 110 Hzで交互に色別の干渉像を取り込んで波長別の位相を計算する方法で, 3次元形状をnmの計測精度でありながら垂直走査速度45 μm/sで計測可能なことを示している.
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(1524K)
半導体露光装置におけるディストーション計測の高精度化
深川 容三, 宮代 隆平, 中森 眞理雄
2005 年 71 巻 11 号 p. 1410-1414
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1410
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半導体露光装置のディストーション計測では, 1 nm以下の精度が求められている. しかし, 従来の計測方法は露光装置のXYステージ精度に依存し, 計測精度が不足していた. 本論文では, 2次元最小2乗逐次2点法を応用したディストーション計測法を提案する. 初めに計測原理を説明し, 次に, 本計測法と従来の計測法を実験で比較した. そして, 本計測法の計測値を4回平均すれば, 要求される計測精度が達成できることを示した.
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(554K)
セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究
李 東建, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 河 兌坪, 林 照剛
2005 年 71 巻 11 号 p. 1415-1420
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1415
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高い機械的強度を持つ高精度なマイクロ部品を作製するため, セラミックナノ粒子を光硬化性樹脂に均一混合することによって, 機械的強度の高い粒子混合樹脂の開発を行った. また多積層の造形時によく発生する余剰成長を抑制するため, グレースケールの液晶マスクを用いて連続積層することによって, 余剰物のない高精度なマイクロかさ歯車の作製が可能になった.
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(2010K)
触感覚による粒子群の認識と言語評価
渡辺 信一, 尾崎 功一, 山崎 友麻, 山本 純雄
2005 年 71 巻 11 号 p. 1421-1425
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1421
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本研究では, 粒子群に対する人間の触感覚について言葉を媒介とした方法を用いて, 感性評価を行った. まず, 主成分分析を用いて定量的に反応パターンを分類し, 触感覚が変化する粒径を抽出した. この結果, 典型的な4種類の反応パターンに分類でき, 触感覚が変化する粒径と指紋の形状には関係があることが明らかになった. さらに, 粒径の変化に対して, 大きく反応が変化する場合とそうではない場合が存在することが明らかになった.
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(1001K)
マイクロホンの指向性を考慮した音源位置同定法に関する研究
畝田 道雄, 石川 憲一
2005 年 71 巻 11 号 p. 1426-1431
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1426
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本研究は音源位置同定法として検討されているAH法, MAH法, MUSIC法を対象に, 使用するマイクロホンに指向性を有する一般的な場合を取り上げている. 特に, マイクロホンが指向性を有する場合に適用できる評価関数を示すとともに, 指向性を考慮しない従来方法の結果と比較して, 考慮することの影響やその重要性に関して, 計算機シミュレーション並びに実験によって示している.
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(980K)
中型回転電機用連続コイルの巻線支援システムの開発
石上 孝, 森 義和
2005 年 71 巻 11 号 p. 1432-1436
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1432
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自動巻線が不可能な丸線の連続亀甲形コイルを対象として, 巻線作業を支援, 誘導する新しいシステムを開発した. システムはノズル駆動部, 巻枠駆動部, テンションの3ユニットからなり, 主要な巻線動作を機械, 補助的な成形を作業者が分担する. また, 巻枠にシリンダー駆動式の複数のガイドを搭載し, 複雑な巻順やコイル形状の規制を容易化した. 本システムの導入によりSTを従来比1/3に削減できた.
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(2023K)
ファイバ連結型熱放射温度計によるバインダレスcBNエンドミル加工温度の測定
佐藤 昌彦, 上田 隆司, 田中 久隆
2005 年 71 巻 11 号 p. 1437-1441
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1437
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バインダレスcBNによるエンドミル加工時の工具刃先温度を光ファイバ型2色温度計を用いて測定している. 工具すくい面から放射される赤外線を工具裏面から受光し, 2本の光ファイバを連結する回転型ファイバカプラを介して伝送することにより, 高速回転している刃先の温度測定を可能にしている. 切削速度や切削方式の相違が刃先温度に及ぼす影響について検討している.
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(1259K)
マルチプローブ走査型トンネル顕微鏡と結晶格子による2次元変位エンコーダの開発
本田 裕, 明田川 正人, 石下 雅史, Patamaporn CHAIKOOL
2005 年 71 巻 11 号 p. 1442-1447
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1442
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グラファイトの結晶格子表面を多点同時にトンネル電流計測することで, 格子間隔以下を位相補間しながら2次元変位を測定する方法を提案した. これを用い, 100 nm/sで往復変位させたステージの2次元変位を測定し, 格子間隔以下の分解能を持つ2次元エンコーダの可能性を検証した.
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(1596K)
釣り仕掛けアニメーションのための抗力係数の同定と過渡的糸挙動の再現
山邉 茂之, 熊本 博光, 西原 修
2005 年 71 巻 11 号 p. 1448-1453
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1448
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傾斜円柱に作用する流体抗力は, 軸の垂直方向が主であることを実験から確認した後, 定常状態における釣糸の形状を記述するための微分方程式を導出し, 数値解と曳航実験結果から抗力係数を決定した. 次に, 多自由度リンク機構モデルで過渡的な糸形状の数値解を求め, 曳航実験との比較から再現可能性を明らかにした. さらに, 曳航実験とは異なる場合につき, 手法の有効性の一端を示した.
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(1793K)
形体計測における不確かさの見積り (第3報)
―区分多項式による直線形体の形状偏差モデル―
高増 潔, 阿部 誠, 古谷 涼秋, 大園 成夫
2005 年 71 巻 11 号 p. 1454-1458
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1454
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直線形体の持つ形状偏差により生じる系統誤差は, 測定の不確かさの未知の系統効果となる. 本論文では, 形状偏差を区分多項式を利用してモデル化し, パラメータを最小二乗法により, 求める方法を定式化した. さらに, モデル選択の評価基準を提案した. また, 直線形体モデルの信頼性を評価する手法を定式化した.
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(1218K)
XMLを用いた溶接支援アプリケーション連繋手法の提案
大谷 成子, 藤田 充苗, 小島 俊雄, 小林 秀雄
2005 年 71 巻 11 号 p. 1459-1463
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1459
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インターネット上のサイトにアーク溶接加工条件設定の支援に関係する種々のWebアプリケーションシステムが公開されている. しかしながら, これらを連繋して, より高度な支援を実現する手法は未解決の課題である. 本文は, この課題の解決を, XMLで定義したインターフェイスの調整によって実現する手法を提案した. そして, 既存の溶接条件決定プログラム, 溶接熱履歴シミュレーションと溶接用CCT図データベースの3システムの連繋を実現し, 有効性を確認している.
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(1572K)
設計者の創造性と最適設計法に基づいたコンプライアントメカニズムの創成設計法
小林 正和, 西脇 眞二, 泉井 一浩, 吉村 允孝
2005 年 71 巻 11 号 p. 1464-1469
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1464
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本研究では, 高機能・高性能なメカニズムを実現するために, 最適化手法と設計者の創造性に基づいた創成設計法を構築する. すなわち, 最適化手法により創成されたコンプライアントメカニズムに, 設計者の創造性に基づいて得られたアイデアを有機的に結合することで, コンプライアントメカニズムだけでは実現できない機能や性能を持ったメカニズムシステムを創生する.
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(1581K)
離散化制御点曲面におけるサブドメインに関する拡張
加藤 清敬
2005 年 71 巻 11 号 p. 1470-1473
発行日: 2005年
公開日: 2007/05/15
DOI
https://doi.org/10.2493/jspe.71.1470
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制御点をばらばらにした離散化制御点曲面は, サブドメインの形状が矩形であるため, 生成面にその形状の影響が出るという問題点があった. そこで, 本研究では, サブドメインに矩形以外の形状を適用することを試みた. 制御点が持つサブドメインを三角形や円や凹凸の多角形とすることにより曲面の表現性を増やした. 理論的拡張を示した後, 具体的な実装方法について述べ, 曲面生成例により本研究方法の有効性を示した.
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