表面科学
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12 巻 , 4 号
選択された号の論文の8件中1~8を表示しています
  • 益田 秀樹, 馬場 宣良
    1991 年 12 巻 4 号 p. 210-214
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2009/08/07
    ジャーナル フリー
    既存の微細な構造をもつ材料を母型とし,これを他の物質の表面に転写することにより,微細な規則構造を有する表面を形成することができる。代表的な多孔性規則構造材料であるAl陽極酸化多孔質皮膜を例に,サブミクロン~ナノメートル領域での微細構造転写について検討を行った結果を紹介する。湿式プロセスを中心にいくつかの転写プロセスについて検討を行い,種々の材料による微細構造の作成が可能なことを示した。
  • 西村 勝憲, 高須 芳雄
    1991 年 12 巻 4 号 p. 215-219
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2009/08/07
    ジャーナル フリー
    平坦な基板上に,サイズの揃った超微粒子を担持させるための技術は,磁気的あるいは光学的記録素子などにかかわるエレクトロニクスの開発研究,ならびに触媒化学の基礎研究において,重要な位置を占めている。その代表的な方法例として,真空蒸着法と電子線リソグラフィーの特徴について述べる。前者では,担持された粒子の位置がランダムであるが,粒子サイズのほぼ揃った超微粒子を作成することができ,簡単で直接的な手段である。また,後者は粒子のサイズと配列を,同時に制御することを目的としている。また,新しい可能性として,均一な細孔をもつ中空繊維を利用した微粒子作成法を紹介する。
  • 新井 透, 太田 幸夫
    1991 年 12 巻 4 号 p. 220-226
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2009/08/07
    ジャーナル フリー
     溶融塩浴, 流動層中に添加された炭化物形成元素, 窒化物形成元素と基材中のC, Nを反応させて, 金属,サーメット, セラミックス基材上に炭化物, 窒化物の被覆層を作ることができる。われわれはこの方法を, 層の形成, 成長の機構から熱反応析出・拡散(Thermo-Reactive Deposition and Diffusion; TRD)と呼んでいる。この方法では,簡単な設備でCVD, PVDによるものと同じような組成, 組織, 厚さ, 特性をもつ層を作ることができ, 耐摩耗, 耐焼付き, 耐食性などが要求される機械部品や金型, 刃物などに広く実用化されている。
  • 日置 辰視, 野田 正治, 磯谷 彰男
    1991 年 12 巻 4 号 p. 227-232
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2010/02/05
    ジャーナル フリー
    ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は,著しい低摩擦特性と高硬度とをあわせもつ長寿命の固体潤滑皮膜として有望である。低い温度で密着性よく皮膜形成する手段として,有機化合物の蒸着とイオン照射を併用したイオンビームアシスト蒸着法を紹介する。典型的なDLCである水素を含む非晶質炭素(a-C:H)は,真空中や乾燥雰囲気下では~0.02という著しく低い摩擦係数,μを示す。しかし水分を含む雰囲気下ではμは,0.2程度まで増大する。この水分による摩擦特性の劣化は,Siとの合金化によって著しく改善できる。すなわちa-C1-xSix:H(0.05≦x≦0.35)は,高湿度雰囲気下でもμ~0.05であり,真空中や乾燥雰囲気下ではμ≦0.02である。これらのDLCの低摩擦の機構についても考察する。
  • 高橋 常利
    1991 年 12 巻 4 号 p. 233-240
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2010/02/05
    ジャーナル フリー
    イオンプレーティング,スパッタリングおよびプラズマCVDの3種類のドライコーティングプロセスを有する連続コーティング設備の開発により,ステンレス鋼冷間圧延薄板の表面に金属およびセラミックスをコーティングした新しいステンレス鋼を開発した。これまでに,イオンプレーティングによるTiN,Tic,スパッタリングによるCr,Al2O3,プラズマCVDによるSiOxの5膜種のコーティング材について,実地適用を含めて加工性,耐食性,耐磨耗性などを評価した結果,各々の膜種の色調に加えて良好な上記特性を有することが確認された。
  • 小林 健三, 岩木 正哉, 藤花 隆宣
    1991 年 12 巻 4 号 p. 241-246
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2010/02/05
    ジャーナル フリー
    薄膜形成中あるいは薄膜を通してイオン注入を行ういわゆるイオンビームミキシングは,これまでのところ熱的に添加できない原子の混合や,薄膜と基板との界面混合による密着性の改善に主たる目的が置かれていた。近年,このイオンビームミキシング技術は新機能,多機能表層の創成法として期待され,密着性の向上のみならず膜の結晶構造や配向性を制御する研究が盛んに行われている。ここでは,AINx薄膜へのイオン注入すなわちイオンビームミキシング中の結晶成長について解説する。まず,AlNx(0.2≦x≦1.4)薄膜の組成および構造変化に及ぼす窒素イオン注入効果について述べ,つぎに注入イオン種の違いによるAlNx(x=0.8)薄膜中のAlNの結晶成長の違いについて述べる。これにより,薄膜の結晶化と注入粒子のエネルギー損失過程との関係に言及する。
  • 戸嶋 博昭, 古滝 敏郎, 矢口 洋一, 天田 裕治, 松本 修
    1991 年 12 巻 4 号 p. 247-255
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2009/08/07
    ジャーナル フリー
    気相からのダイヤモンドおよびダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon: DLC)の生成方法および応用分野について紹介する。 マイクロ波プラズマCVD法において,炭素源としてメタンを,希釈ガスとして水素,アルゴンを用いた場合の生成物と気相中の種の関係,および炭素源としてアセトン,一酸化炭素を用いた場合の生成物と気相中の種の関係について述べる。また,低温合成に関して,炭素源をハロゲン化炭素を用いた結果について紹介する。
  • 目黒 多加志, 青柳 克信
    1991 年 12 巻 4 号 p. 256-257
    発行日: 1991/06/01
    公開日: 2009/08/07
    ジャーナル フリー
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