コールドスプレー法は固体状態で成膜できるために従来の溶射法と比較して優れた特徴を有している.固体状態での成膜プロセスであるために固有の課題もある.例えば,皮膜は従来の溶射法と異なって皮膜内部に大きな歪みを含んだ組織となっている.コールドスプレーにより得られた皮膜は,バルク体と同じ成分でも全く異なった機械的性質を有している.歪みは耐食性などにも影響を与えることから,皮膜内の歪みの評価をすることは重要である.本研究ではEBSD法によって低圧型コールドスプレーで成膜したNi皮膜の評価を行った.併せてTEM観察も行った. TEM観察から皮膜はサブグレインを大量に含んだ組織となっていた.熱処理することによって菊池パターンを確認できない部分が大幅に減少した.これはサブグレインを多量に含んでいるためであると思われる.得られたEBSD 測定結果からGrain Average Misorientation(GAM)とKernel Average Misorientation(KAM)を計算した結果から熱処理によってミスオリエンテーションが増加することが確認された.これは菊池パターンを確認できなかった部分に含まれるサブグレインが熱処理によって移動してきたためであると思われる.EBSD 法は,コールドスプレー皮膜の歪み評価に有効な方法である.
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