巻号一覧
22 巻, 3 号
選択された号の論文の18件中1～18を表示しています
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久保 富夫, 山口 博司, 水野 元, 堀越 源一1979 年 22 巻 3 号 p. 73-74
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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久呉 高博1979 年 22 巻 3 号 p. 75-77
発行日: 1979/03/20
公開日: 2010/01/21
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塩山 忠義, 小川 倉一, 滝口 勝美, 四谷 任1979 年 22 巻 3 号 p. 78-79
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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三宅 寛1979 年 22 巻 3 号 p. 80-81
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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高橋 信, 中村 静雄, 浦野 俊夫, 金持 徹1979 年 22 巻 3 号 p. 82-84
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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金戸 成, 池上 達治1979 年 22 巻 3 号 p. 85-88
発行日: 1979/03/20
公開日: 2010/01/22
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坂本 雄一, 石部 行雄1979 年 22 巻 3 号 p. 89-91
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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石部 行雄, 大山 等1979 年 22 巻 3 号 p. 92-94
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
ジャーナル フリー(1) 充分酸化後のステンレス鋼表面における反応確率は0.2であり, 亜酸化銅の1に較べて小さい.これは金属とガスの結合力の違いによるものであろう.
(2) 充分酸化した表面でのFig.4の (I) の結果はDietzの結果と一致する.Dietzはこれについて表面で反応が起るのではなく, 表面近傍の酸化層内の反応であると述べている.
(3) 約2×1018 (cm-2) の水素原子にさらした後の結果 (Fig.5II) からは, バルク内の酸素原子が表面近傍に向って拡散する現象が関係しているように考えられる.このような拡散が水蒸気生成速度を律速するのならば, 壁の温度を可能な限り高く維持することによって, 清浄度の高い表面が短時間に得られるであろう.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (321K) -
Fe-Cr酸化物の深さ方向定量分析塩川 善郎, 石黒 勝彦, 本間 禎一, 石田 哲夫, 林義 孝1979 年 22 巻 3 号 p. 95-98
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
ジャーナル フリー以上, 感度係数法による整理法, 内部基準法による整理法 (ICr, 対IFe。プロット, IO/IFe対ICr/IFe, プロット), 低エネルギー側ケミカルシフト, Fe高エネルギー側ピーク (705eV) の形状変化観察の5つの異なった方法での解析がすべてよい一致を示した.このことは, 分析データの安定性を示すとともに, 求められた深さ方向元素分布の信頼性を表わしていると考えられる.さらに, このように深さ方向について元素の状態が大きく変化しているような場合においてもオージェ信号が充分に定量性を保持していることが確認された.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (365K) -
宮尾 正大, 鈴木 智行, 萩野 実1979 年 22 巻 3 号 p. 99-101
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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高橋 敏男, 菊田 惺志, 辻 泰, 福留 理一1979 年 22 巻 3 号 p. 102-104
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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宮尾 正大, 川口 泰彦, 助川 徳三, 萩野 実1979 年 22 巻 3 号 p. 105-107
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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山下 睦雄, 小川 潔1979 年 22 巻 3 号 p. 108-110
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
ジャーナル フリー(1) 本方法によるスパッタは, マグネットを使用しない場合でも, ターゲットの電流密度を大きくすることができるため, Fe, Ni等の強磁性体の材料に対しても高速スパッタが可能となった.また, 非磁性体に対しては, マグネトロン型と組み合わせることにより, 更にスパッタ速度を高める可能性がある.
(2) プラズマ遮蔽用ネットによって, プラズマをスパッタ室内に閉じ込め, プラズマ濃度を高めてスパッタ速度を高めると共に, 基板温度上昇も充分おさえられ, プラスチック基板上へのスパッタも可能となった.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (259K) -
田畑 三郎, 真壁 遼治, 上田 映介, 花坂 孝雄1979 年 22 巻 3 号 p. 111-114
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
ジャーナル フリーマグネトロンスパッタリングにより2個の高純度材料を使用して合金膜を作成した結果, 以下のことを確認した.
i) Al膜, Cu膜の生成速度については (1), (2) 式で示されるような関係を得た.
ii) 合金膜の場合には生成速度の圧力依存性が極めて小さくなった.
iii) 基板を静止させた場合と往復運動させた場合とで膜の構造に差が生ずることが認められた.
iV) 基板を往復運動させた場合, ある条件のもとでは基板位置によらず同一組成の合金膜が得られた.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (514K) -
阿久根 安博, 田畑 三郎, 真壁 遼治1979 年 22 巻 3 号 p. 115-117
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
ジャーナル フリー(i) 同一表面粗度基板上にスパッタにより形成されたSicの表面粗度は低温域基板に比べ高温域基板の方が平滑になる.これは高温域基板程スパッタ形成膜の基板上での表面拡散の効果が大きく働らくため, 平滑化が促進されたと思われる.
(ii) x線回折の結果, 低温域でスパッタしたSiCはアモルファス状であり, 高温域の場合は (111) に強く配向したβSiCであった.
(iii) 膜の硬度値はPC2H2に大きく依存し, 過剰のSiの減少と共に急激に硬度は増す.x線回折強度比 (I=I [Si (111)] /I [βSiC (111)]) のPC2H2依存性と硬度のPC2H2依存性は同一の傾向を示した.また低温域のSiC膜の硬度値は, 高温域のそれに比べ, 高いPC2H2側に寄っている.これは高温域に比べ低温域 (反応律速段階) ではアセチレンの熱分解度が小さいために炭素が不足となり, より高いPC2H2が必要になったためと思われる.
(iv) Sicの内部応力は圧縮性でその程度はStoneyの式より, 低温域の場合14kg/mm2, 高温域の場合5kg/mm2程度であった.高温になる程応力が減少するのは水素の脱離のためか, あるいは高温下でのエージングによる応力緩和なのかを今後確認する必要があると考えられる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (458K) -
海老沢 重雄1979 年 22 巻 3 号 p. 118-120
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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武田 伸一1979 年 22 巻 3 号 p. 121-123
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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曽根 和穂, 小宮 宗治, 平田 正紘, 戸田 義継, 町田 和雄, 工藤 勲, 村上 寛, 石丸 肇, 堀越 源一, 簑田 和之, 北条 ...1979 年 22 巻 3 号 p. 124-138
発行日: 1979/03/20
公開日: 2009/09/04
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