巻号一覧
59 巻, 7 号
選択された号の論文の16件中1～16を表示しています
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難波 進1990 年 59 巻 7 号 p. 865
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
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廣田 榮治1990 年 59 巻 7 号 p. 866-878
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー赤外レーザー分光およびマイクロ波分光を用いた,低圧気相における簡単なフリーラジカルの構造研究の現況を紹介する.まずこれら分光法の特色を概観し,フリーラジカルの密度の実時間測定への応用を論ずる.プラズマプロセシングの基礎過程に特に重要と思われるCH3, CCH, SiHn, CFn, CCln, SiFn, SiCln(n=1～3)を取り上げ,これまでに得られた成果を概説する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1032K) -
稲田 太郎, 中村 徹1990 年 59 巻 7 号 p. 879-888
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー近年,集積回路の微細化に伴い,これの構成要素である半導体電子デバイズに不可欠な不純物ドープ層を,きわめて浅く形成する必要性が急速に高まっている.本稿では,この浅い不純物ドープ層が強く要請されている背景を明らかにするとともに,このドープ層をイオン注入法によって実現する際の諸問題と,これに対処する技術について解説する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (721K) -
原 雅弘1990 年 59 巻 7 号 p. 889-900
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー近年,放射光施設の必要性は高まっている.ここでは放射光施設の歴史と現状に触れ,第3世代大型放射光施設の旗手としてのSPring-8の概要について述べる.さらに加速器の要素技術の重要性と問題点について触れ,それを踏まえてSPing-8の設計理念を述べる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (801K) -
道家 忠義1990 年 59 巻 7 号 p. 901-911
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー最近計画されている月基地の建設や火星への有人飛行などの,磁気圏外の宇宙における長期滞在に関連して,宇宙における放射線がどの程度のレベルにあるのか,それによる人体への被ばくはどの程度か,そのような放射線に対する許容基準はどの程度のレベルに設定されているか,また,どのようにして線量当量が測定されうるのかについて説明し,宇宙線量計測に新技術の導入が必要なことを指摘する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (776K) -
板谷 良平1990 年 59 巻 7 号 p. 912-916
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーこれまで,ブラックボックスとして取り扱われてきた半導体プロセス用プラズマの内部状態の定量的な解明と,プロセスの高度化,高信頼化を実現するための反応性プラズマの制御性の向上に関する研究の進展の状況を紹介し,これからの新しいプラズマ反応器開発の方向を展望する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (359K) -
岡田 漱平, 金沢 育三1990 年 59 巻 7 号 p. 917-927
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーポジトロンが正電荷をもった軽粒子であるという特性を巧みに利用して,白色ビームから低速ビーム(～eVオーダー;加速することによりエネルギー可変単色ビーム)を取り出し,さらに輝度強化する技術が開発され,材料の高度なキャラクタリゼーションのための新ビームとして注目を集めるようになった.本稿では,ポジトロンビームの新しい利用技術の展望,および電子リニアック(線形加速器)を中心として高強度ビーム発生技術,輝度強化技術などの原理・技術開発の状況・将来展望について述べる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (832K) -
澤良木 宏, 相原 龍三1990 年 59 巻 7 号 p. 928-932
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー低いエネルギー領域で高集束のイオンビームを形成する手段として,リターディング法というイオン光学系の開発を行った.ここでは,裝置構成および本装置の性能の一部について紹介する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (2206K) -
梨山 勇1990 年 59 巻 7 号 p. 933-936
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー化学気相成長法でSi基板上にエピタキシャル成長した3C-SiC(立方晶炭化ケイ素)の放射線損傷,ならびに3C-SiCMOSトランジスタの照射効果を調べた.電子スピン共鳴,イオンチャネリング,ホール効果などの測定から,Si格子位置にある欠陥が,電気特性劣化と関係していること,および,3C-SiCの高い耐放射線性を示唆する結果を得た.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (286K) -
尾浦 憲治郎1990 年 59 巻 7 号 p. 937-943
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー表面に,ある元素がどれだけの量存在しているかは,表面研究における最も基本的な情報であり,この量が決まっていないため,論争や矛盾点が生じる場合が,しばしば見受けられる.特に,表面の水素については,定量が困難なため,推測あるいは仮定されている場合がほとんどである.われわれは,最近,表面研究に適した手法による,表面水素の定量に成功した.高エネルギーイオンの衝突現象を利用するこの手法は,簡便で,定量性に優れ,しかも高感度である.これにより,“表面に存在する水素量を実際に測りながら”水素が関与する表面現象を追求することが可能となり,すでに,その応用が始められた.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (2581K) -
松村 昭作1990 年 59 巻 7 号 p. 945-946
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
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村岡 克紀, 山形 幸彦, 前田 三男1990 年 59 巻 7 号 p. 947-948
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
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籏野 嘉彦1990 年 59 巻 7 号 p. 949-950
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
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菅ノ又 伸治, 石川 稜威男1990 年 59 巻 7 号 p. 951-952
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
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大谷 実, 吉田 国雄1990 年 59 巻 7 号 p. 953-958
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーMixed films were produced by means of composite-multilayer method and co-evaporation method to obtain any specified refractive-index or stress of thin films. The refractive-index of mixed film with SiO2-ZrO2 was almost the same as the calculated value from Lorentz-Lorenz formula. Two-wavelength antireflection (AR) coatings with composite-multilayer method were produced for the first time by combining the mixed films with SiO2-ZrO2 and MgF2 on fused-silica and BK-7 glass substrates. The laser damage threshold of this AR coating was measured to be 10_??_12 J/cm2 at 1.064 μm (pulse-width τp=1 ns) and 10_??_11 J/cm2 at 0.532 μm (τp=1 ns), respectively. Also, the relation between laser damage threshold and stress of thin films were examined by using the SiO2-MgF2 mixed film and high reflectance mirror produced by mixed film with SiO2-MgF2 and ZrO2. As a result, it has become clear that the laser damage threshold with τp of less than 1 ns is not affected from stress of less than 3000 kgf/cm2 on thin films.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (424K) -
伊藤 泰郎, 荒井 保明, 江原 由泰, 堺 孝夫, 宮田 慶生, 林 篤1990 年 59 巻 7 号 p. 959-964
発行日: 1990/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーInvestigations were carried out to clear the superposition effects of the silent discharge, the surface discharge and the discharge luminescence on ozone synthesis. A coaxial and cylindrical double layer discharge tube was used for ozone synthesis. The inner tube was made of quartz and the outer tube of hard glass. Outer and inner tubes were rolled by aluminum foil and nickel wire coil respectively, as electrodes, and a rod electrode was inserted at the center of the inner tube. Nitrogen gas filled the inner tube and oxygen flowed between the inner and the outer tubes. Silent discharges were generated in oxygen gas, and nitrogen discharges in the inner tube with surface discharge on its surface. The following results were obtained. Amounts of ozone generated by silent discharges and surface discharges were almost the same. The sum of the amounts of ozone generated by the silent discharge alone and by the surface discharge alone is approximately equivalent to the amount of ozone generated when both types of discharge occurred simultaneously in oxygen gas. The superposition effect of silent discharge and luminescence of nitrogen discharge was studied, but no remarkable effect was observed.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (415K)
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