巻号一覧
60 巻, 8 号
選択された号の論文の16件中1～16を表示しています
- |<
- <
- 1
- >
- >|
-
千川 純一1991 年 60 巻 8 号 p. 751
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (964K) -
津屋 英樹, 松井 純爾1991 年 60 巻 8 号 p. 752-765
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー2000年には出現するであろう1GビットDRAMに用いられるシリコン単結晶のあるべき姿について考察する. FZやCZ結晶中の点欠陥や析出核の振舞,酸素析出の挙動,欠陥制御技術の開発など大きな成果がみられた.さらに近年,シリコン結晶中での重金属不純物の振舞についての理解が進み,大口径化の進展と共に,シリコンバルク単結晶はULSI用基板としての確固たる地位を築いたかにみえる.しかし1Gビット時代にむけて,点欠陥の制約とそのブレークスルー,あるいは理想的基板としてのエピタキシャル結晶の発展性,さらにSOI実用化の可能性などを論じる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (15359K) -
篠山 誠二, 長谷部 政美, 山内 剛1991 年 60 巻 8 号 p. 766-773
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーシリコンウエ八ー中の欠陥はデバイスの歩留まりと密接に関係している.欠陥の大部分は,結晶成長後の冷却過程で形成されており,後の熱処理において肥大化し顕在化される.本論文は,主にデバイスプロセスで問題となる欠陥の形成について,結晶の冷却過程と対比して解説する. (1) 酸素析出物の形成, (2) リング状に分布するOSFの形成過程, (3) 酸化膜耐圧特性に関連する欠陥の形成,について具体的に述べられる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (4552K) -
磯前 誠一1991 年 60 巻 8 号 p. 774-781
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーSi結晶の熱酸化は結晶中に応力を誘起する.この酸化誘起応力は結晶欠陥の挙動のみならず酸化形状にも影響を及ほすが,実験的に測定することは難しい.ここでは,二次元酸化シミュレーションにより酸化誘起応力を解析する方法にっいて述べ,選択酸化構造に関する解析結果と解析法の問題点を紹介する.この解析を通して,なお基本的な問題が未解決のまま残されていることを指摘したい.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (4988K) -
早藤 貴範1991 年 60 巻 8 号 p. 782-789
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーSiULSI技術は,歴史上かつてない,完全性の高いSi結晶を要求している. Si結晶に含まれる不純物や結晶欠陥を制御するゲッタリング技術は, Si結晶の完全性を維持し回復する技術として,新しい研究段階に踏み出した.ここでは, Si結晶中の格子間Siと空孔の挙動を重視する立場から, Siウエハーのゲッタリングについて解説する.はじめに,ゲッタリングの対象である不純物,格子間Si, 空孔の熱的挙動を整理する.次に,ゲッタリングの手法と機構について述べた後,将来のゲッタリングについて考察する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (4507K) -
古川 和由, 新保 優1991 年 60 巻 8 号 p. 790-793
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーウエハー直接接着技術とその応用について過去数年間の進展をまとめた.接着機構の解明が進み,強度が高くボイドがないなど,完全な接着ができることが示された.応用面ではエピ・拡散代替のSi/Si接着に加え,酸化膜介在接着により高品位で大面積のSOIウエハーが得られることが,実証され注目されている.今後はSOIが応用の主流となるとみられ,課題であるSOI層厚制御を中心として研究と開発が行われている.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1027K) -
谷川 庄一郎1991 年 60 巻 8 号 p. 794-798
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー陽電子消滅によるSi中の欠陥評価の最近の進展について紹介する.最近,半導体の欠陥が陽電子消滅特性に及ぼす効果の原理が実験的および理論的に明らかとなった.基礎的側面を踏まえた上で,イオン注入によって導入される原子空孔型欠陥の性状,酸化膜界面の水素の挙動,酸化膜応力により誘起される酸素原子の再配列など最新の知見について述べる.イオン注入により導入された空孔型欠陥の情報は,他の方法では得られないものである.また,陽電子がホール,水素と似た挙動をすることから,水素によるダングリングボンドのターミネーションやホールトラップの研究に有力であることもわかってきた. Siの機械的強度と酸素原子の役割について新しい考え方を提案する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (2117K) -
渡辺 匡人, 江口 実, 柿本 浩一, 日比谷 孟俊1991 年 60 巻 8 号 p. 799-803
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーダブルビームX線透視法を新たに開発し,チョクラルスキー (CZ) 法によるSi単結晶育成時の, Si融液対流の三次元可視化観察を行った.三次元可視化は,ステレオ写真法に基づいて行った.ここでは,このダブルビームX線透視法の紹介と, Si融液対流のうち軸対称流についての観察結果,および流速を解析した結果について述べる.流速の解析結果から,結晶下部ではるつぼ回転よりも速い周方向速度をもつこと,るつぼ壁近傍では周方向速度は非常に遅くなり,さらにるつぼ回転と逆方向に流れる場合もあることが明らかとなった.すなわちるつぼ内のSi融液は,周方向に剛体回転をしていないことを示している.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (2159K) -
佐藤 史郎, 後藤 克幸, 藤本 勲, 松下 正, 千川 純一1991 年 60 巻 8 号 p. 804-807
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーシリコン基板単結晶に堆積した非晶質シリコン膜に対し, X線(シンクロトロン放射光)を照射して結晶を作製する方法を開発した.照射の効果をレーザーラマン分光法, SEM, TEM観察で調べた結果, X線が均一核発生・成長,および低温でのエピタキシャル成長の促進に効果があり,転位の少ない高品質の薄膜結晶が得られることがわかった.これらの結晶成長に及ぼす効果は, X線照射による内殻励起で,空孔形成が促進されることに基づくと考えた.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (4278K) -
干川 圭吾, 平田 洋1991 年 60 巻 8 号 p. 808-812
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーLSIに用いるCZ-Si結晶育成技術において重要な課題となっている酸素濃度制御について,筆者らの研究を紹介する.酸素の混入機構解析結果およびこれを基に適用した回転磁界による融液の誘導回転効果,直流磁界による対流抑制効果を利用した酸素濃度制御の結果を示し,その制御機構を考察する.また,最近の研究であるカスプ磁界印加酸素濃度制御についても述べる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (723K) -
Gerrit E. W. BAUER1991 年 60 巻 8 号 p. 813-815
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー日本に滞在する外国人研究者にとって,難しい日本語を身につけるには時間と努力,忍耐が必要である. 1年以下の短期滞在では,日本語を修得しようとしても効果が上がらず,研究にも支障がでよう. 1年以上の長期間滞在するときは,日本文化と日本人の考え方を知り,研究会での議論を有意義とするためにも,日本語を修得した方がよい.始めの数カ月に日本で全日の日本語集中学習をするのが有効である.文部省あたりが常時プログラムを用意して欲しい.この短期集中学習を経た上で,日本語を上達させるための2, 3の案践例を紹介する. 1年を遇ぎると飛躍的に上達するであろう.これらのことは,外国人を迎える側にある立場の人たちにも参考になろう.(編集委員会抄録)抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (280K) -
小松 啓1991 年 60 巻 8 号 p. 816-820
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー使う立場からみた光学顕微鏡の基礎的原理とその使い方のコツを,測定や記録の実例にそって解説する.反射光による観察を中心にしている.
1. 光学顕微鏡に関する20の常識
2. 各種の光学顕微鏡の原理と性能
(1)微分干渉顕微鏡 (2)暗視野顕微鏡 (3)位相差顕微鏡
3. 膜厚・ステップ高さの測定法
(1)二光束干渉法 (2)多光束干渉法
4. 光干渉法による濃度勾配の測定法
5. 光学的手法の組み合わせ方と検出限界抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (424K) -
北川 邦彦1991 年 60 巻 8 号 p. 821-822
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (251K) -
原 明人, 大沢 昭1991 年 60 巻 8 号 p. 823-824
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (2535K) -
釘宮 公一1991 年 60 巻 8 号 p. 825-826
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (1305K) -
白井 宏1991 年 60 巻 8 号 p. 827-828
発行日: 1991/08/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (147K)
- |<
- <
- 1
- >
- >|