巻号一覧
62 巻, 7 号
選択された号の論文の19件中1～19を表示しています
- |<
- <
- 1
- >
- >|
-
徳山 巍1993 年 62 巻 7 号 p. 653
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (854K) -
山本 幸佳1993 年 62 巻 7 号 p. 654-665
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー粒子線加速器の多様化と普及に伴い,発生する放射線も,その線種・線質を比較的自由に制御することが可能となってきた.さらに,従来のいわゆる1次放射線と,さまざまな媒質とか場との相互作用によるエネルギー変換過程の結果生ずる2次放射線にも注目が集まり,その効率的発生技術の開発と,新しい分野への応用を目指した研究が活発になってきた.ここでは,それらのなかで,現在研究段階にあるものについて,いくつかを取り上げ,簡単な現状の説明と今後の展望について述べることにする.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (13639K) -
後藤 俊夫1993 年 62 巻 7 号 p. 666-675
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー非平衡プラズマや光を用いた半導体プロセスにおいて,気相中の中性非発光ラジカルはきわめて大きな役割を果たす.特にSiH3, SiH2, CH3, CF3などは,CVD時の薄膜形成あるいはエッチング時の側壁保護膜形成の前駆物質として重要であるが,従来その測定は不可能であった.しかし最近,赤外半導体レーザー吸収法をはじめとする新しいレーザー分光法や,しきい値イオン化質量分析法が開発され,それらのラジカルに関するプラズマ中の密度の測定や制御,素過程研究などが初めて可能になった.この成果は,半導体プロセス分野の次への発展につながると期待される.本報告では,最近の新しいラジカル計測技術の発展と主要な測定結果を紹介し,今後の展望について述べる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (10482K) -
山本 正樹1993 年 62 巻 7 号 p. 676-682
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー原子層オーダーの厚さの人工多層膜を成膜する技術によって,波長10nm程度の軟X線に対しても強め合いの干渉を実現し,反射率をバルクの鏡の数十倍の50%以上にあげた多層膜光学素子が開発されている.これによって,従来は不可能であった直入射光学系を構成することができるため,望遠鏡,顕微鏡,リソグラフィー光学系などに応用されて,新しい研究分野として軟X線多層膜光学が発展しつつある.軟X線用多層膜素子の光学特性の理論的取り扱いを,実験値をもとに説明し,in-situエリプソメーターによる,金属超薄膜や軟X線用多層膜の形成プロセスのモニター例を示すとともに,最も新しい,透過型の多層膜素子への展開について解説する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1844K) -
菊田 惺志1993 年 62 巻 7 号 p. 683-690
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー電子蓄積リングから得られる放射光は,ふつう分光結晶などによって単色化して利用されることが多いが,そのバンド幅は1～10eV程度である.それに対して,最近,挿入型光源であるアンジュレーターの導入によりX線源がさらに高輝度になり,核共鳴ブラッグ散乱を用いてμeV以下のバンド幅にまで超単色化することが可能になった.ここでは,核共鳴ブラッグ散乱の特徴的な現象,57Feを富化したヘマタイト結晶からの核共鳴ブラッグ散乱の観測例,共鳴核を含む完全結晶,GIAR膜,多層膜などの核モノクロメーターの機能,核共鳴散乱線を利用した研究の展望などについて述べる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (925K) -
木下 博雄1993 年 62 巻 7 号 p. 691-694
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー多層膜を用いた軟X線縮小露光技術は,0.1μm以下の露光法として期待されている.ここでの主要な技術課題は,いかに少ないミラー枚数で大面積露光可能な光学系を設計するか,いかに直入射で高反射率な多層膜を製作するか,そして長波長域での高感度なレジストである.これらの技術の最近の研究成果と今後の課題について述べた.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1253K) -
田中 大, ボーステン Ｌ．1993 年 62 巻 7 号 p. 695-698
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー反応性プラズマでは,モデリングの手法および計測診断の最近の飛躍的な進展のおかげで,プラズマの発生,制御,そして必要な活性種の生成機構の解明に,原子・分子レベルでの新しい展開を見せている.逆に,原子物理学,量子化学に大きな刺激となり,今まで手に負えないと思われていた複雑な分子に挑戦するきっかけを与えてくれている.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (494K) -
渡辺 征夫, 白谷 正治1993 年 62 巻 7 号 p. 699-702
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーRFシランプラズマ中のパウダーの成長観測に,過渡放電と二つのレ-ザー散乱法とを組み合わせた方法を適用することにより,パウダーはRF電極シース端領域において現れ始める,放電開始1秒程度で粒径60～180nm,密度1014～1015m-3程度に達する,電極近傍では粒径は電極に近いほど大きい,などの興味ある結果が得られる.これらの結果から,パウダーの核形成とそれに続く急成長に寄与する粒子種,および,パウダーに働く力についての検討が可能となる.また,RFシランプラズマ中のパウダーの成長抑制には,RF放電を変調する方法が有効であり,その抑制機構は,パウダーの放電空間における成長過程から理解できる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (2409K) -
池谷 元伺, 池田 すみ子1993 年 62 巻 7 号 p. 703-706
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー自然放射線により生じた常磁性の格子欠陥やラジカルを電子スピン共鳴(ESR)で検出し,その蓄積量から年代値を求める方法について紹介し,その新しい試みとして,固体H2O(氷)やCO2(ドライアイス)を用いたすい星や外惑星の物質の年代測定の可能性を探る基礎研究について述べる.また,サンゴ骨格(CaCO3)の信号強度分布をESR顕微鏡(イメージング)で調べ,CO2-ラジカルや不純物に関連したSO3-ラジカルを用いた環境評価の方法についても解説する.ESRは年代測定とともに,地球環境評価の手法としても役立つことがわかってきた.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1288K) -
高橋 亮人1993 年 62 巻 7 号 p. 707-709
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー常温核融合実験で得られた主な実験結果を,中性子,トリチウム,過剰熱について紹介した.中性子スペクトルには,2.5MeVピークと3～10MeVの連続成分がある.n/T比は10-4～10-9と異常値を示す.過剰熱は多くのところで確認された.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (340K) -
笠木 治郎太, 石井 慶造1993 年 62 巻 7 号 p. 710-711
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー重水素密度の非常に高いTiDxを150keVの重陽子で照射し,照射中に放出される陽子を測定した.陽子のエネルギーは17MeVまでに達し,通常のD＋D反応では到底説明できない高エネルギー陽子の発生を示している.エネルギースペクトルの詳細な解析は次のような興味深い結論を導く.(1)ごくまれではあるが,異常な量の3Heが局所的にTiDx中に存在する.この異常な3Heの存在は,Ti棒に重水素を吸蔵しているときに起こったものと推測される.(2)3個の重陽子が関係する核反応が生じている.しかも,3個の重陽子が2段階の過程を経て逐次反応するだけでなく,常識的に考えにくいが,同時に関与する反応が生じている可能性がある.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (236K) -
山口 栄一, 西岡 孝1993 年 62 巻 7 号 p. 712-714
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリー重水素化パラジウム(Pd-D)の一表面にAuを蒸着し,もう片面に酸化膜MnO2を蒸着した試料を真空中に置いて,通電加熱することにより,4Heの生成をリアルタイムで観測した.測定は,高分解能(4amuにおいて0.001amu)四重極質量分析装置を用いて行った.4Heの質量(4.0026amu)に等しいピークは,重水素分子の質量(4.0282amu)に等しいピークと明確に分離し得,その出現は,通電加熱を始めて数時間後に突然起きる試料温度の急激な上昇と時間的な相関を有していた.一方,軽水素化パラジウム(Pd-H)を用いた同様の実験では,4Heの質量に等しいピークの出現は観測されなかった.以上の実験結果は,固体中で新しいメ力ニズムによる核反応が生じていることを示唆する.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (1301K) -
柴田 徳思1993 年 62 巻 7 号 p. 715
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (131K) -
延与 三知夫1993 年 62 巻 7 号 p. 716
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (135K) -
池上 英雄1993 年 62 巻 7 号 p. 717
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (116K) -
常深 博1993 年 62 巻 7 号 p. 718-719
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (2005K) -
木下 勝之1993 年 62 巻 7 号 p. 720-721
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (761K) -
検出感度と入射角依存性山口 直洋1993 年 62 巻 7 号 p. 722-723
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (2275K) -
雨宮 慶幸1993 年 62 巻 7 号 p. 724-725
発行日: 1993/07/10
公開日: 2009/02/05
ジャーナル フリーPDF形式でダウンロード (1254K)
- |<
- <
- 1
- >
- >|