応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
79 巻, 11 号
『応用物理』 第79巻 第11号
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巻頭言
企画の意図
総合報告
  • —TFT技術開発の歴史とその将来—
    山元 良高
    2010 年 79 巻 11 号 p. 965-974
    発行日: 2010/11/10
    公開日: 2019/09/27
    ジャーナル フリー

    液晶ディスプレイの産業規模は驚くべき速度で拡大した.その原動力となったのが,薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor : TFT)技術の進歩である.非晶質シリコン(Amorphous Silicon : a -Si)TFT技術は大型液晶TVを生み出し,低温ポリシリコンTFTは携帯電話などの中小型ディスプレイの中核技術となった.さらに,多様なTFT技術シーズが次々と生まれており,情報インフラと生活スタイルにマッチした新たな情報機器の出現を予感させる.本稿では,これまでのTFT技術開発の歴史を振り返り,これからの発展の方向を薄膜トランジスタ技術イノベーションの観点から展望する.

解説
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